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广纳院微纳元器件工程创新平台
广纳院微纳元器件工程创新平台导读:广纳院微纳元器件工程创新平台 项目信息 备案项目编号 2107-440112-04-05-321489 项目名称 广纳院微纳元器件工程创新平台 项目所在地 广州市黄埔区龙湖街道广州微纳元器件创新中心 项目总投资 47500.0万元 项目规模及内容...
广纳院微纳元器件工程创新平台规模及项目内容详情
备案项目编号 | 2107-440112-04-05-321489 |
项目名称 | 广纳院微纳元器件工程创新平台 |
项目所在地 | 广州市黄埔区龙湖街道广州微纳元器件创新中心 |
项目总投资 | 47500.0万元 |
项目规模及内容 | 本项目规划建筑面积13021.34平米,占地面积4303.09平米,建设一个开放共享的面向微纳元器件领域的公共平台,围绕以MEMS+硅光工艺为主线的微纳元器件工艺技术,在产业前沿技术和共性技术取得重大突破,孵化培育一批具有较强国际竞争力的企业。项目购置工艺设备约70余种。 |
建设单位 | 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 |
备案机关 | 开发区行政审批局 |
备案申报日期 | 2021年07月01日 |
复核通过日期 | 2021年07月02日 |
项目起止年限 | 2021年06月01日 - 2024年04月01日 |
项目当前状态 | 办结(通过) |
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