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22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发
22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发导读:22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发 项目信息 备案项目编号 2020-440112-39-03-099318 项目名称 22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发 项目所在地 广州市黄埔区九龙镇凤凰五路 项目总投资 2000.0万元 项目规模及内容...
22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发规模及项目内容详情
备案项目编号 | 2020-440112-39-03-099318 |
项目名称 | 22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发 |
项目所在地 | 广州市黄埔区九龙镇凤凰五路 |
项目总投资 | 2000.0万元 |
项目规模及内容 | 本项目的目的是完成半导体工艺的光学邻近效应修正(Optical Proximity Correction,OPC),拟购置至少5000颗CPU核,使用相匹配的机房,建筑面积2500平方米。 |
建设单位 | 澳芯集成电路技术(广东)有限公司 |
备案机关 | 开发区行政审批局 |
备案申报日期 | 2020年11月09日 |
复核通过日期 | 2020年11月09日 |
项目起止年限 | 2021年01月01日 - 2023年12月01日 |
项目当前状态 | 办结(通过) |
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