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22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发

2020-11-21 22:15:30 佛山

22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发导读:22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发 项目信息 备案项目编号 2020-440112-39-03-099318 项目名称 22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发 项目所在地 广州市黄埔区九龙镇凤凰五路 项目总投资 2000.0万元 项目规模及内容...

22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发规模及项目内容详情

项目信息
备案项目编号2020-440112-39-03-099318
项目名称22纳米FDSOI中试线光学邻近效应修正(OPC)流程开发
项目所在地广州市黄埔区九龙镇凤凰五路
项目总投资2000.0万元
项目规模及内容本项目的目的是完成半导体工艺的光学邻近效应修正(Optical Proximity Correction,OPC),拟购置至少5000颗CPU核,使用相匹配的机房,建筑面积2500平方米。
建设单位澳芯集成电路技术(广东)有限公司
备案机关开发区行政审批局
备案申报日期2020年11月09日
复核通过日期2020年11月09日
项目起止年限 2021年01月01日 - 2023年12月01日
项目当前状态办结(通过)
来源:广东省投资项目在线审批监管平台

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