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12英寸集成电路先进制程专用设备的高均匀性氮化铝陶瓷加热盘研制
12英寸集成电路先进制程专用设备的高均匀性氮化铝陶瓷加热盘研制导读：12英寸集成电路先进制程专用设备的高均匀性氮化铝陶瓷加热盘研制 项目信息 备案项目编号 2103-440600-04-05-752071 项目名称 12英寸集成电路先进制程专用设备的高均匀性氮化铝陶瓷加热盘研制 项目所在地 佛山市南海区桂城街道环岛南路28号 项目总投资...
12英寸集成电路先进制程专用设备的高均匀性氮化铝陶瓷加热盘研制规模及项目内容详情
| 备案项目编号 | 2103-440600-04-05-752071 |
| 项目名称 | 12英寸集成电路先进制程专用设备的高均匀性氮化铝陶瓷加热盘研制 |
| 项目所在地 | 佛山市南海区桂城街道环岛南路28号 |
| 项目总投资 | 25220.0万元 |
| 项目规模及内容 | 完成氮化铝陶瓷加热盘开发、工艺验证和产业化推广，建成陶瓷加热盘研发平台和验证测试平台。形成12英寸氮化铝陶瓷加热盘年产1000套以上产业规模，产品满足核心技术要求和应用考核指标。项目计划配套工程投入3050万元，设备投入17170万元，研发经费5000万元。 |
| 建设单位 | 季华实验室 |
| 备案机关 | 佛山市发展和改革局 |
| 备案申报日期 | 2021年03月19日 |
| 复核通过日期 | 2021年03月20日 |
| 项目起止年限 | 2021年03月01日 - 2024年02月01日 |
| 项目当前状态 | 办结（通过） |
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